熱膨脹驅(qū)動型微閥屬于主動型集成機(jī)械驅(qū)動微閥，采用氣體或液體加熱體積膨脹使膜片彎曲的方式驅(qū)動微閥。這種微閥已經(jīng)被應(yīng)用于許多微流體器件中，因?yàn)樗軌蛱峁┳銐虻奈㈤y驅(qū)動力和足夠的位移，而且，熱膨脹驅(qū)動型微閥的結(jié)構(gòu)十分簡單，加工方便。