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不同材質的微流控芯片封合工藝

微流控芯片制作過程中, 封裝是一個重要步驟。優良的封裝技術可以提高芯片的壽命,可靠性和降低環境對產品性能的影響。在微流控芯片封裝工藝中,常見的問題是芯片粘接中的空隙, 引線鍵合中較低的鍵合強度, 塑料封裝后的界面剝離等等。所有這些問題均與材料的表面特性有關。


等離子封合(鍵合)

硅片+PDMS、玻璃+PDMS、PDMS+PDMS


熱壓封合(鍵合)

PMMA+PMMA、PC+PC


膠粘封合(鍵合)

玻璃+PMMA、PMMA+PMMA


陽極封合(鍵合)

硅片+玻璃、硅片+硅片


化學處理封合(鍵合)

PDMS+PMMA、PMMA+PMMA


其他非常材質封合(鍵合)

鈮酸鋰基底和PDMS芯片封合


標簽:   微流控 封合