• 投影式光刻機 Projection Photoetching Machines投影式光刻機一般采用步進-掃描式曝光。光源并不是一次把整個掩模上的圖形投影在晶圓上，曝光系統通過一個狹縫式曝光帶（slit）照射在掩模上，如1（a）所...2017-12-29 09:04:54
• 一文看懂光刻機制程和更高效率的生產需要。?創新一：實現步進式掃描投影。 此前的掃描投影式光刻機在光刻時硅片處于靜止狀態，通過掩模的移動實現硅片不同區域的曝光。 1...2018-05-16 08:59:54
• 光刻技術的基本原理膜版直接和光刻膠接觸，會造成掩膜版的沾污。2.2投影式光刻?? ? 投影式光刻機在現代光刻中占主要地位，據調查顯示，投影式光刻機約占整個光刻設備市場...2016-10-10 10:13:26
• 光刻機的簡單介紹牌光刻機的品牌眾多，根據采用不同技術路線的可以歸納成如下幾類：高端的投影式光刻機可分為步進投影和掃描投影光刻機兩種，分辨率通常在十幾納米至幾微米之間...2016-04-18 11:54:16