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'關鍵字: 靜電鍵合'
- 幾種主要的鍵合方法dic Bonding)陽極鍵合技術是由美國Wallis等人提出,又稱靜電鍵合或場助鍵合。是一種將硅芯片或圓片與玻璃襯底相封接的封裝方法鍵合時,將對...2016-05-13 09:23:31
- 微流控芯片技術在生命科學研究中的應用;在微通道和儲液池的適當位置用氣相沉積方法制作出金電極和引線,用粘貼或靜電鍵合的方法把一塊玻璃片封接到硅片上閉合微通道;在玻璃片上對應儲液池的位置鉆...2016-04-27 13:53:50